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技术参数
1.線性精度: U1=3+L/200um 。
2.重複精度: 3um。
3.外觀尺寸: 670 x660 x950 mm。
4.测量景深：150mm/30mm.
5.机台定位精度：±0.002mm.
6.量測行程: 200*100*300mm (X,Y)。
产品特点
本机采用高精度光栅尺。高速非接触操作，可证
零摩擦和零机器磨损，开放式光学设计保证了高性能，
周期误差通常上于±0.25um，线性误差特性为每
60mm±1um.
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